CP200國產(chǎn)臺階膜厚儀

cp200國產(chǎn)臺階膜厚儀是利用光學干涉原理，可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。是一種接觸式表面形貌測量儀器。
cp系列臺階儀廣泛應用于：大學、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度led、太陽能、mems微機電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域。如在太陽能光伏行業(yè)中，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度，具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點。它可以測量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等。
產(chǎn)品特性
1.出色的重復性和再現(xiàn)性，滿足被測件測量精度要求
線性可變差動電容傳感器（lvdc），具有亞埃級分辨率，13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。
2.超微力恒力傳感器：（1-50）mg可調(diào)
測力恒定可調(diào)，以適應硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制，實現(xiàn)無接觸損傷的精準接觸式測量。
3.超平掃描平臺
系統(tǒng)配有超高直線度導軌，杜絕運動中的細微抖動，提高掃描精度，真實反映工件微小形貌。
4.頂視光學導航系統(tǒng)，5mp超高分辨率彩色相機
5.全自動xy載物臺， z軸自動升降、360°全自動θ轉(zhuǎn)臺
6.強大的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)
臺階儀軟件包含多個模塊，為對不同被測件的高度測量及分析評價提供充分支持。
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cp200國產(chǎn)臺階膜厚儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求，樣品適應面廣，數(shù)據(jù)復現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。
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