耀群科技股份有限公司
耀群代理美國HACH的Hiac,MetOne,Royco,ARTI及HYT微粒子計數(shù)器應(yīng)用於無塵室,無塵室全廠微粒子落塵監(jiān)控(FMS),純水,化學(xué)品,高壓氣體及製程設(shè)備等各種落塵,微粒子監(jiān)控.並提供維修校正技術(shù)諮詢租借及遵循NEBB代測工程服務(wù).
煩請轉(zhuǎn)寄相關(guān)部門單位如採購,製程,品保,廠務(wù)
作技術(shù)經(jīng)驗的交流, 希望未來有機會為您繼續(xù)提供相關(guān)技術(shù)服務(wù)及合作!!
耀群科技目前所代理服務(wù)的產(chǎn)品如下:
A.美國HACH ULTRA ANALYTICS是全世界最大的微粒子偵測系統(tǒng)供應(yīng)商,品牌包括MetOne、ROYCO、HIAC、HYT,
分別供應(yīng)無塵室、室內(nèi)空氣品質(zhì)、高壓氣體、Hepa/Ulpa洩漏量測及監(jiān)控系統(tǒng)(FMS)、DIW系統(tǒng)、化學(xué)品、
高粘度光阻及各式油品含潤滑液溶劑、真空製程設(shè)備CVD, Ion Implanter, Furnace, Plasma Etcher、
有關(guān)Particle量測等相關(guān)專業(yè)服務(wù)。
B. ESD靜電量測設(shè)備、TSI風(fēng)速計、Rotronic and INS溫濕度計、……等。
C.無塵室NEBB代測、專業(yè)諮詢、儀器租借等服務(wù)。
D.美國Matec Applied Sciences超微粒徑分析儀提供最新的聲波檢測原理,Sample不需稀釋即可分析出準(zhǔn)確的Particle Size,
提供各種不同的Particle分佈分析的模式,量測範(fàn)圍從5nm-100um,適合用於CMP Slurny、Ceranincs、lnks、Phsrmaceutic..等。
E. NSK Motor Overhaul Service for Mirra CMP Machine Tool維修。
F.Helmke Drum RTC-3000 無塵衣發(fā)塵量測試漢姆克滾筒;符合IEST-RP-003規(guī)範(fàn)。
G.測試擦拭布潔淨(jìng)度Liquid Particle Counter
H.日本INTI ION Counter正負(fù)離子計數(shù)器測試各種環(huán)境下正、負(fù)離子的濃度與各種負(fù)
離子相關(guān)產(chǎn)品的離子產(chǎn)生數(shù)量,應(yīng)用在觀察 正負(fù)離子在空氣中的 驗證。
F.Surface Particle Detector, Mini-environmental Monitoring System
美國Pentagon Technologies 的 QIII+ 應(yīng)用于設(shè)備機臺( PVD, CVD,.., Etch, Diffusion ) Chamber 內(nèi)Surface Particles 量測, 可降低產(chǎn)品Defect和Test Wafer的使用量, 以及工作臺面積臺表面潔凈度..等的驗證. 此已為目前機臺維護作業(yè)時的標(biāo)準(zhǔn)工具
耀群科技提供完整解決的方案,相信可以成為貴公司最好的技術(shù)顧問夥伴。